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去離子水/超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)（國(guó)家電子級(jí)水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)）
說明：
1、 一級(jí)超純水，水樣接觸到空氣后，電阻率18 MΩ，cm(25℃)會(huì)下降。
2、 電阻率和電導(dǎo)率是倒數(shù)關(guān)系。
|
指標(biāo) |
EW-Ⅰ |
EW-Ⅱ |
EW-Ⅲ |
EW-Ⅳ |
EW-Ⅴ |
|
電阻率 MΩ·cm（25℃） |
18 |
15 |
10 |
≥2 |
≥0.5 |
|
大于1μm微粒數(shù)，最大值，個(gè)/mL |
1 |
5 |
10 |
100 |
500 |
|
大于0.5μm微粒數(shù)，最大值，個(gè)/mL |
100 |
300 |
500 |
1000 |
2000 |
|
細(xì)菌個(gè)數(shù)，最大值，個(gè)/mL |
1 |
5 |
10 |
50 |
100 |
|
總有機(jī)碳含量，最大值 |
50 |
100 |
200 |
1000 |
1000 |
|
二氧化硅總含量，最大值 |
2 |
20 |
50 |
100 |
1000 |
|
氯含量，最大值 |
0.5 |
2 |
10 |
100 |
500 |
|
銅含量，最大值 |
0.2 |
2 |
5 |
50 |
500 |
|
鉀含量，最大值 |
0.5 |
5 |
10 |
100 |
1000 |
|
鈉含量，最大值 0 |
0.5 |
6 |
10 |
200 |
500 |
|
鋅含量，最大值 |
0.2 |
2 |
10 |
100 |
500 |
|
鋁含量，最大值 |
0.5 |
5 |
10 |
100 |
500 |
|
鐵含量，最大值 |
0.5 |
5 |
10 |
100 |
500 |
|
鈣含量，最大值 |
0.5 |
5 |
10 |
100 |
500 |
中國(guó)國(guó)家電子級(jí)超純水GB/TII446.1－1997標(biāo)準(zhǔn)
化學(xué)指標(biāo)單位：μg/L
|
指標(biāo)級(jí)別 |
一級(jí) |
二級(jí) |
三級(jí) |
四級(jí) |
|
在線電阻率 MΩ，cm(25℃) |
18以上，（95％時(shí)間）不低于17 |
15，（95％時(shí)間）不低于13 |
12.0 |
0.5 |
|
在線電導(dǎo)率 μS，cm(25℃) |
0.055 |
0.066 |
0.083 |
2 |
|
全硅，最大值,μg/L |
2 |
10 |
50 |
1000 |
|
＞1μm微粒數(shù)，最大值，個(gè)/mL |
0.1 |
5 |
10 |
500 |
|
細(xì)菌個(gè)數(shù)，最大值，個(gè)/mL |
0.01 |
0.1 |
10 |
100 |
|
銅，最大值，μg/L |
0.2 |
1 |
2 |
500 |
|
鋅，最大值，μg/L |
0.2 |
1 |
5 |
500 |
|
鎳，最大值，μg/L |
0.1 |
1 |
2 |
500 |
|
鈉，最大值，μg/L |
0.5 |
2 |
5 |
1000 |
|
鉀，最大值，μg/L |
0.5 |
2 |
5 |
500 |
|
氯，最大值，μg/L |
1 |
1 |
10 |
1000 |
|
硝酸根，最大值，μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
|
磷酸根，最大值，μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
|
硫酸根，最大值，μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
|
總有機(jī)酸，最大值，μg/L |
20 |
100 |
200 |
1000 |
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