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去離子水/超純水水質(zhì)標準(國家電子級水質(zhì)標準)
說明:
1、 一級超純水,水樣接觸到空氣后,電阻率18 MΩ,cm(25℃)會下降。
2、 電阻率和電導率是倒數(shù)關系。
指標 | EW-Ⅰ | EW-Ⅱ | EW-Ⅲ | EW-Ⅳ | EW-Ⅴ |
電阻率 MΩ·cm(25℃) | 18 | 15 | 10 | ≥2 | ≥0.5 |
大于1μm微粒數(shù),最大值,個/mL | 1 | 5 | 10 | 100 | 500 |
大于0.5μm微粒數(shù),最大值,個/mL | 100 | 300 | 500 | 1000 | 2000 |
細菌個數(shù),最大值,個/mL | 1 | 5 | 10 | 50 | 100 |
總有機碳含量,最大值 | 50 | 100 | 200 | 1000 | 1000 |
二氧化硅總含量,最大值 | 2 | 20 | 50 | 100 | 1000 |
氯含量,最大值 | 0.5 | 2 | 10 | 100 | 500 |
銅含量,最大值 | 0.2 | 2 | 5 | 50 | 500 |
鉀含量,最大值 | 0.5 | 5 | 10 | 100 | 1000 |
鈉含量,最大值 0 | 0.5 | 6 | 10 | 200 | 500 |
鋅含量,最大值 | 0.2 | 2 | 10 | 100 | 500 |
鋁含量,最大值 | 0.5 | 5 | 10 | 100 | 500 |
鐵含量,最大值 | 0.5 | 5 | 10 | 100 | 500 |
鈣含量,最大值 | 0.5 | 5 | 10 | 100 | 500 |